1600 °C Vakuumatmosphären-Rohrofen-CVD-System

BESCHREIBUNG

Das 1600°C Vakuum/Atmosphären-Röhrenofen-CVD-System (CVD-TF) bietet eine experimentelle Umgebung mit Vakuum, kontrollierbarer Atmosphäre und hoher Temperatur und wird in der Halbleiter-, Nanotechnologie-, Faser- und anderen Bereichen eingesetzt. Dieses CVD-Wachstumssystem eignet sich für CVD-Prozesse, wie z. B. Siliziumkarbidbeschichtung, Leitfähigkeitstest für Keramiksubstrate, kontrollierbares Wachstum der ZnO-Nanostruktur, Atmosphärensintern von Keramikkondensatoren (MLCC) und andere Experimente.

EIGENSCHAFTEN

1. Der Ofen besteht aus polykristalliner Mullitfaser-Vakuumadsorption, das Temperaturfeld ist gleichmäßig und die Energieeinsparung beträgt mehr als 50%

2.Die selbst entwickelte Luftumleitungs- und Wärmeisolierungstechnologie gewährleistet die Lebensdauer und konstante Temperaturwirkung jeder Komponente in der Box

3. Wenn der Elektroofen gestartet wird, läuft der Abluftventilator automatisch gleichzeitig. Nach dem Test läuft der Abluftventilator weiter, bis die Temperatur des Ofenkörpers unter 60 °C liegt, und der Abluftventilator stoppt automatisch, wodurch die Oberfläche des Ofenkörpers effektiv geschützt wird.

4. Die Ofentür wird mit automatischer Abschaltung, Übertemperaturschutzfunktion und Auslaufschutzfunktion geöffnet, um die Sicherheit der Verwendung zu gewährleisten.

5.Die Schaltung verwendet einen kontinuierlichen Heizleistungsmodus, eine Zweikreis-Stromversorgung und eine separate Verkabelung mit starkem und schwachem Strom verbessert die Stabilität des Systems

6. Das Heizmodul nimmt ein DC-Signal an, um die Ausgangsleistung einzustellen, wodurch die Interferenz von induzierter Elektrizität mit dem Steuersignal vermieden wird.

7. Niederspannungs-Metallknöpfe werden für Bedienknöpfe verwendet, mit Statusanzeigeleuchten, sicherer und intuitiver Bedienung.

8. Die oberen und unteren Ofenkörper sind durch Luftfahrtstecker verbunden, die sicher, zuverlässig und bequem zu verbinden sind.

9. Die Gaskreislaufbaugruppe besteht aus Edelstahl 316 in Lebensmittelqualität, der korrosionsbeständig, atmosphärisch korrosionsbeständig und hochtemperaturbeständig ist und nicht magnetisch ist.

10. Nehmen Sie ein digitales Durchflussanzeigeinstrument an, arbeiten Sie mit dem Massendurchflussregler zusammen, sammeln Sie Daten und steuern Sie den Durchfluss. Es zeichnet sich durch gute Wiederholbarkeit, schnelle Reaktionsgeschwindigkeit, Stabilität und Zuverlässigkeit aus. (Gasmassenstromregelsystem)

11.Automatische Steuerung und Schaltfunktion der manuellen Steuerung, der automatische Steuerungsmodus kann die Vakuumpumpe automatisch über den eingestellten Wert öffnen / schließen, sodass der Behälter in einem bestimmten Vakuumdruckbereich gehalten werden kann. Im manuellen Steuerungsmodus kann der Benutzer die Vakuumpumpe direkt über die Ein-/Aus-Taste der Vakuumpumpe bedienen. um die Anforderungen verschiedener Experimente zu erfüllen. (Mittelvakuum-Steuerungssystem)

12. Die Magnetventil-Slow-Start-Technologie öffnet das Magnetventil 10 Sekunden nach dem Einschalten der Vakuumpumpe, sodass der Systemdruck im Ofenrohr genau gehalten wird und auch sichergestellt wird, dass das Abgas nicht in den Ofen zurückkehrt Röhrensystem zur Beeinflussung des experimentellen Effekts (Feinvakuum-Kontrollsystem)

13. Überhitzungsalarm, Menüsperre, Überhitzungsschutz, Verzögerung der Stromwiederherstellung.

14. Unter Verwendung der Einwegventiltechnologie wird der Gasfluss innerhalb eines kontrollierbaren Druckbereichs gesteuert, um die Sicherheit zu gewährleisten.

15.Die Gasmischtankvorrichtung wird verwendet, damit das Gas in den Arbeitsraum eingeführt werden kann, nachdem es vollständig gemischt wurde, um sicherzustellen, dass es nicht ausläuft.

SPEZIFIKATIONEN